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铜川市(耀州区、印台区、王益区、宜君县)

保定市(涞源县、竞秀区、顺平县、徐水区、阜平县、涿州市、定兴县、曲阳县、易县、满城区、唐县、雄县、容城县、高碑店市、涞水县、定州市、蠡县、博野县、安国市、安新县、望都县、清苑区、高阳县、莲池区)

本溪市(平山区、本溪满族自治县、南芬区、桓仁满族自治县、明山区、溪湖区)

防城港市(港口区、上思县、防城区、东兴市)  大连市(中山区、旅顺口区、西岗区、长海县、甘井子区、瓦房店市、金州区、沙河口区、庄河市、普兰店区)

怀化市(通道侗族自治县、洪江市、麻阳苗族自治县、鹤城区、辰溪县、会同县、沅陵县、新晃侗族自治县、溆浦县、中方县、靖州苗族侗族自治县、芷江侗族自治县)

徐州市(泉山区、贾汪区、沛县、云龙区、睢宁县、新沂市、邳州市、鼓楼区、铜山区、丰县)

襄阳市(襄州区、南漳县、樊城区、枣阳市、谷城县、宜城市、保康县、襄城区、老河口市)

三明市(三元区、宁化县、泰宁县、沙县区、大田县、永安市、明溪县、将乐县、尤溪县、建宁县、清流县)  宿州市(灵璧县、萧县、泗县、砀山县、埇桥区)

绵阳市(涪城区、平武县、盐亭县、安州区、北川羌族自治县、梓潼县、三台县、游仙区、江油市)

揭阳市(惠来县、普宁市、揭东区、揭西县、榕城区)

文山壮族苗族自治州(文山市、砚山县、麻栗坡县、西畴县、马关县、富宁县、广南县、丘北县)

海东市(乐都区、民和回族土族自治县、平安区、循化撒拉族自治县、互助土族自治县、化隆回族自治县)

滁州市(凤阳县、南谯区、天长市、全椒县、明光市、定远县、来安县、琅琊区)

南充市(高坪区、西充县、嘉陵区、仪陇县、南部县、蓬安县、阆中市、营山县、顺庆区)

自贡市(富顺县、荣县、贡井区、大安区、沿滩区、自流井区)

双鸭山市(友谊县、四方台区、饶河县、集贤县、岭东区、宝清县、尖山区、宝山区)

济宁市(曲阜市、鱼台县、泗水县、兖州区、金乡县、梁山县、微山县、邹城市、任城区、汶上县、嘉祥县)

石家庄市(高邑县、元氏县、晋州市、长安区、桥西区、井陉矿区、赞皇县、鹿泉区、井陉县、赵县、深泽县、行唐县、辛集市、藁城区、灵寿县、新华区、无极县、新乐市、栾城区、正定县、裕华区、平山县)

上饶市(万年县、余干县、婺源县、弋阳县、鄱阳县、横峰县、铅山县、广丰区、玉山县、德兴市、广信区、信州区)

鹤岗市(工农区、南山区、向阳区、绥滨县、东山区、兴安区、兴山区、萝北县)

九江市(柴桑区、德安县、庐山市、湖口县、浔阳区、彭泽县、武宁县、濂溪区、修水县、都昌县、永修县、共青城市、瑞昌市)

南阳市(镇平县、唐河县、新野县、方城县、邓州市、卧龙区、西峡县、社旗县、宛城区、南召县、桐柏县、内乡县、淅川县)

鹰潭市(余江区、贵溪市、月湖区)

三门峡市(渑池县、义马市、湖滨区、陕州区、卢氏县、灵宝市)

阳江市(阳西县、阳春市、阳东区、江城区)

丽江市(永胜县、玉龙纳西族自治县、华坪县、宁蒗彝族自治县、古城区)

邢台市(信都区、平乡县、内丘县、临西县、巨鹿县、襄都区、临城县、南宫市、南和区、宁晋县、任泽区、威县、广宗县、新河县、隆尧县、沙河市、柏乡县、清河县)

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忻州市(代县、静乐县、繁峙县、定襄县、五台县、原平市、偏关县、忻府区、河曲县、五寨县、保德县、岢岚县、神池县、宁武县)

龙岩市(连城县、长汀县、永定区、漳平市、新罗区、武平县、上杭县)

玉林市(容县、玉州区、福绵区、兴业县、博白县、北流市、陆川县)

铜陵市(铜官区、郊区、枞阳县、义安区)  通辽市(霍林郭勒市、开鲁县、扎鲁特旗、科尔沁左翼后旗、科尔沁左翼中旗、奈曼旗、库伦旗、科尔沁区)

柳州市(融水苗族自治县、柳北区、柳江区、三江侗族自治县、城中区、融安县、柳南区、柳城县、鱼峰区、鹿寨县)

百色市(那坡县、田林县、田阳区、乐业县、隆林各族自治县、德保县、凌云县、靖西市、右江区、西林县、平果市、田东县)

铜仁市(松桃苗族自治县、碧江区、万山区、德江县、思南县、沿河土家族自治县、石阡县、印江土家族苗族自治县、江口县、玉屏侗族自治县)连云港市(海州区、连云区、东海县、灌云县、灌南县、赣榆区)

池州市(东至县、石台县、青阳县、贵池区)  昭通市(绥江县、威信县、巧家县、彝良县、永善县、镇雄县、昭阳区、鲁甸县、水富市、盐津县、大关县)

来宾市(合山市、武宣县、象州县、兴宾区、金秀瑶族自治县、忻城县)

牡丹江市(林口县、西安区、东安区、海林市、绥芬河市、爱民区、东宁市、阳明区、宁安市、穆棱市)

桂林市(平乐县、荔浦市、永福县、资源县、象山区、阳朔县、兴安县、临桂区、灵川县、七星区、龙胜各族自治县、恭城瑶族自治县、秀峰区、雁山区、全州县、叠彩区、灌阳县)遵义市(余庆县、道真仡佬族苗族自治县、仁怀市、绥阳县、红花岗区、赤水市、播州区、习水县、凤冈县、湄潭县、务川仡佬族苗族自治县、正安县、桐梓县、汇川区)

白山市(抚松县、靖宇县、临江市、浑江区、长白朝鲜族自治县、江源区)

三亚市(天涯区、吉阳区、崖州区、海棠区)

邯郸市(曲周县、丛台区、大名县、广平县、永年区、馆陶县、邯山区、鸡泽县、临漳县、涉县、武安市、魏县、成安县、复兴区、磁县、邱县、峰峰矿区、肥乡区)

昌都市(贡觉县、类乌齐县、洛隆县、八宿县、左贡县、丁青县、江达县、边坝县、卡若区、察雅县、芒康县)

湖州市(吴兴区、德清县、安吉县、南浔区、长兴县)

张掖市(民乐县、甘州区、肃南裕固族自治县、山丹县、临泽县、高台县)

镇江市(丹徒区、丹阳市、扬中市、句容市、京口区、润州区)

塔城地区(和布克赛尔蒙古自治县、沙湾市、裕民县、额敏县、托里县、塔城市、乌苏市)

资阳市(安岳县、乐至县、雁江区)

福州市(永泰县、长乐区、仓山区、平潭县、闽清县、台江区、闽侯县、鼓楼区、马尾区、福清市、晋安区、连江县、罗源县)

临沧市(耿马傣族佤族自治县、云县、镇康县、沧源佤族自治县、临翔区、永德县、双江拉祜族佤族布朗族傣族自治县、凤庆县)

和田地区(民丰县、和田县、和田市、洛浦县、于田县、策勒县、皮山县、墨玉县)

宣城市(绩溪县、广德市、旌德县、宁国市、泾县、宣州区、郎溪县)

张家口市(桥西区、桥东区、阳原县、蔚县、康保县、万全区、怀来县、崇礼区、涿鹿县、赤城县、尚义县、宣化区、张北县、沽源县、怀安县、下花园区)

洛阳市(偃师区、涧西区、瀍河回族区、洛龙区、栾川县、老城区、宜阳县、西工区、嵩县、洛宁县、伊川县、汝阳县、新安县、孟津区)

嘉峪关市

中国半导体设备产业动态频频，以中微公司和北方华创为代表的国内龙头企业纷纷展现强劲的增长势头和战略布局。中微公司通过大幅增资强化技术研发和市场拓展，巩固其在刻蚀设备领域的领先地位；北方华创则通过对外投资和股权收购，积极拓展业务版图，并在业绩上实现显著增长。

众所周知，中国正在加紧推进半导体的国产化进程，其中设备作为半导体产业的基石，其国产化水平决定着整个半导体产业链的自主可控程度。近期有预测称，到2025年中国大陆半导体设备整体国产化率有望达到50%，该消息引起了行业一众关注。究竟真实进展如何？

中微公司增资至40亿，增幅300%

4月21日，企查查显示，中微半导体（上海）有限公司宣布注册资本由10亿元人民币增至40亿元人民币，增幅达300%。通过增资，中微公司将进一步增强资金实力，加速技术研发和市场拓展，提升在全球半导体设备市场的竞争力。

中微公司2024年财报显示，公司实现营业收入90.65亿元，同比增长44.7%，其中刻蚀设备贡献超72亿元，同比增长54.7%，稳居国产刻蚀设备龙头。尽管净利润约16.16亿元，同比下滑9.5%，但扣非净利润约13.88亿元，同比增长16.5%。这一下滑主要受研发投入激增影响，2024年研发费用达24.5亿元，同比增长94.3%。公司创始人尹志尧表示，2024年人均销售超过400万元，达到设备产业国际先进水平。

从出货设备来看，刻蚀领域，该公司的CCP刻蚀设备2024年生产付运超过1200反应台，创历史新高，累计装机量超过4000反应台；薄膜沉积设备领域，LPCVD设备累计出货量已突破150个反应台，2024年获得约4.76亿元批量订单，ALD（原子层沉积）设备和其他关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进，EPI（外延）设备已顺利进入客户端量产验证阶段。

量测设备领域，中微公司控股子公司超微半导体设备（上海）有限公司拟增资至1.6亿元，中微公司持股比例将降至47.2%，但仍保持控制权。据悉，超微公司重点开发电子束量检测设备，该设备是芯片制造和先进封装工艺中的关键设备，对我国发展新质生产力至关重要。

今年1月，中微公司计划在成都市高新区投资设立全资子公司中微半导体设备（成都）有限公司，建设研发及生产基地暨西南总部项目。项目总投资约30.5亿元，主要用于研发薄膜设备。该公司将作为中微公司的西南总部，建设包括研发中心、生产基地和配套设施，预计2025年开工，2027年投入生产。

北方华创：拟向全资子公司增资4亿元，并参与北京电控增资

4月18日，北方华创公告，公司拟以全资子公司北方华创创新投资(北京)有限公司作为出资平台，与北京电子控股有限责任公司（以下简称“北京电控”）各出资4亿元人民币，以非公开协议方式向北京电控控股子公司北京电控产业投资有限公司增资。

据悉，电控产投将主要通过基金和股权投资方式，围绕集成电路、人工智能、物联网等应用领域，投资布局发展潜力大、技术或产品好的标的企业。此次增资总额为8亿元，其中北方华创出资4亿元，北京电控出资4亿元。增资完成后，电控产投注册资本将增至18.57亿元，北方华创持股比例为17.6847%。

资料显示，电控产投成立于2008年10月30日，注册资本12亿元，股权结构上，北京电控持有50%的股权、京东方持有33.3%股权、电子城持有16.7%股权。

值得注意的是，当前北方华创持续扩大业务布局。今年3月31日，北方华创公告，受让沈阳中科天盛自动化技术有限公司（下称“中科天盛”）持有的芯源微股份1690万股，占芯源微总股本的8.41%。更早前的3月10日，北方华创与沈阳先进制造技术产业有限公司（下称“先进制造”）签署了股份转让协议，北方华创拟受让先进制造持有的芯源微9.49%股份，合计1906.49万股，交易金额为16.87亿元。

受益于半导体行业回暖，北方华创业绩亮眼。2024年，北方华创实现营业收入298.38亿元，同比增长35.14%；归属于上市公司股东的净利润为56.21亿元，同比增长44.17%。该公司还发布了2025年一季度业绩预告显示，预计实现营收73.4亿元至89.8亿元，同比增长23.35%-50.91%；预计实现归母净利润14.2亿元至17.4亿元，同比增长24.69%-52.79%。

北方华创表示，2024年公司深耕半导体基础产品领域，经营业绩稳定增长。公司集成电路装备领域多款新产品取得突破，工艺覆盖度及市场占有率显著增长，产品销量同比大幅度增加。今年一季度，公司集成电路装备领域电容耦合等离子体刻蚀设备（CCP）、原子层沉积设备（ALD）、高端单片清洗机等多款新产品实现关键技术突破，工艺覆盖度显著增长，同时多款成熟产品市场占有率稳步提升。凭借优良的产品、技术和服务优势，公司市场份额持续扩大，营业收入同比提升。

中国半导体设备国产化进程飙升

据SEMI数据，中国作为全球最大的半导体消费市场，强劲的市场需求为半导体设备产业的发展提供了强大动力。近年来，国内半导体设备企业在技术突破和国产替代方面持续发力并取得显著进展。以北方华创、中微公司、盛美上海等为代表的设备公司，在技术研发和市场拓展上成果斐然，逐步成为市场竞争中的重要力量。截至2024年，中国半导体设备国产化率提升至13.6%，在刻蚀、清洗、去胶和CMP设备市场，国产化率已突破双位数。尽管光刻设备与国际先进水平仍存在差距，但也取得了部分突破。

全球前五大半导体设备厂商均专注于前道设备应用，分别是应用材料、ASML、东京电子、Lam Research和科磊（KLA）。其中，应用材料、东京电子、泛林半导体是平台型企业，业务横跨刻蚀、薄膜、清洗、离子注入等多个领域，而ASML和KLA属于细分领域龙头。从行业发展趋势来看，向平台型企业发展是进入全球设备第一梯队的关键路径。

由上表可知，在中国大陆，我国目前在发展平台型设备厂商方面卓有成效的主要有北方华创、中微公司、盛美上海和万业企业，而在各细分领域也出现了诸如拓荆科技、芯源微、华海清科、长川科技（维权）、精测电子、中科飞测等代表性企业。

我国设备平台型企业发展情况各有不同，北方华创发展较早，已形成规模，是国内唯一成型的平台型设备企业；中微公司和盛美上海处于加速成长阶段，具备一定规模；万业企业虽处于发展初期，但明确朝着“平台型”企业的目标迈进。从企业发展体量来看，自2022年起，设备行业诞生了北方华创和晶盛机电两个百亿设备巨头。

据全球半导体观察综合中国半导体产业协会、企业财报、半导体行业咨询公司等行业各方消息可知，我国在去胶、清洗、刻蚀设备方面国产化率较高；在CMP、热处理、薄膜沉积领域，近几年国产化取得明显突破；然而在量测、涂胶显影、光刻、离子注入等设备领域，仍较为薄弱。

去胶设备领域来看，中国半导体国产化率在2023-2024年显著提升，尤其在成熟制程（28nm及以上，下同）和中低端市场已实现较高替代率。综合行业多方数据显示，在中低端市场，国产化率约75%-90%，主要覆盖成熟制程、功率半导体、先进封装等领域；而在高端市场上，在先进逻辑芯片（14nm以下，下同）和高端存储芯片（3DNAND/DRAM）中，国产化率仍低于30%，这部分主要依赖东京电子、LamResearch等国际厂商。目前，我国在去胶设备领域的代表企业主要有屹唐半导体、浙江宇谦、上海稷以、北方华创、盛美上海等，总体来看国产设备在“去胶+清洗”集成设备中占优。

清洗设备领域，我国国产化率已不断提高至50-60%，代表企业主要有北方华创、盛美上海、至纯科技、芯源微、屹唐半导体等。

在刻蚀设备领域，我国在成熟制程国产化率约为50%-60%，主要应用于逻辑芯片、功率半导体和存储芯片（如3DNAND）；而在先进制程，国产化率不足15%，高端市场被Lam Research、东京电子、应用材料等垄断。在该领域我国主要代表企业有中微公司、北方华创、嘉芯半导体、屹唐半导体等，另外拓荆科技、盛美上海、芯源微虽然没有专门推出转有的刻蚀设备，但其部分领域设备均有涉及刻蚀工艺。

在热处理设备领域，我国国产化率约为30%-40%，主要代表企业有北方华创、晶盛机电、中微公司、拓荆科技、嘉芯半导体等，另外华海清科、拓荆科技、芯源微部分领域设备均有涉及热处理工艺，占据一定市场份额。

PVD设备领域则是北方华创、捷佳伟创、嘉芯半导体、中电科、科睿设备有限公司、中科院沈阳科学仪器、合肥科晶材料、晶盛机电、中微公司、盛美上海、拓荆科技。该领域设备国产化率还处于较低水平，约为15%-20%，其中在先进制程领域，国产化率仅为10%左右，主要依赖进口。

半导体CMP设备领域，我国在成熟制程国产化率约15%-25%，主要应用于功率半导体、MEMS传感器等领域；而在先进制程上国产化率不足10%，高端市场由应用材料、荏原制作所等垄断。我国在该领域上的代表企业主要有盛美上海、华海清科、中国电科、鼎龙控股、烁科精微等。

涂胶显影设备是光刻工艺的核心设备之一，主要用于晶圆的光刻胶涂覆、显影等步骤。在该领域，我国国产化率约为10%-15%（主要集中在封装和成熟制程），前道设备国产化率不足10%。行业消息显示，涂胶显影设备的主要挑战在于设备稳定性、工艺精度（如均匀性控制）、与光刻机的协同适配方面。我国涂胶显影设备主要代表企业则是盛美上海、芯源微、北方华创、中微公司、华峰测控等。

在离子注入设备领域，我国在成熟制程上的国产化率约10%-20%，主要应用于功率半导体、MEMS传感器等非先进逻辑芯片领域；而在先进制程国产化率不足5%，市场由应用材料、Axcelis、日立国际电气主导。目前，国产设备在中高能量（>200keV）和超低能量（<1keV）离子注入领域仍落后，束流均匀性（±3%vs国际±1%）和稳定性待提升。而在晶圆尺寸适配上，12英寸设备成熟度低，8英寸设备逐步替代进口。此外在相关重要配件上如离子源、质量分析器等长期依赖进口。该领域我国主要代表企业为凯世通、中国电科、烁科中信科、北方华创、中微公司等。

半导体量测设备包括晶圆缺陷检测、关键尺寸测量（CD-SEM）、膜厚测量（椭偏仪）、套刻精度测量等，技术门槛极高。该领域整体国产化率约为10%-15%，我国主要在中低端设备和部分细分领域取得突破，其中前道高端设备（如EUV相关检测）国产化率不足5%。目前该领域的主要发展瓶颈在于核心光学部件（如高精度激光器）、算法软件（缺陷分类与数据分析）依赖进口，设备稳定性与海外巨头存在差距。在量测领域我国主要代表企业为上海微电子、中科飞测、精测电子、华海清科、北方华创等。

在半导体光刻设备前道制造（EUV/ArF浸没式）领域，国产化率约为0%-1％。而在成熟制程光刻机（KrF/i-line，90nm及以上），国产化率约10%-15%，主要用于功率半导体、MEMS、分立器件等领域。而在封装光刻机（后道先进封装），在上海微电子主导下，国产化率不断提升。在该领域我国的主要代表企业有上海微电子、中国电科、北方华创等。据悉，上海微电子计划推出支持55nm制程的KrF光刻机，并推进28nm光刻机量产验证。