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全国服务区域:
恩施土家族苗族自治州(来凤县、鹤峰县、咸丰县、宣恩县、恩施市、巴东县、利川市、建始县)
长治市(沁源县、沁县、潞城区、上党区、黎城县、襄垣县、壶关县、屯留区、长子县、平顺县、潞州区、武乡县)
龙岩市(漳平市、上杭县、永定区、长汀县、连城县、武平县、新罗区)
淮北市(烈山区、濉溪县、相山区、杜集区)
大庆市(大同区、林甸县、红岗区、龙凤区、萨尔图区、肇州县、杜尔伯特蒙古族自治县、肇源县、让胡路区)
崇左市(天等县、龙州县、扶绥县、宁明县、凭祥市、大新县、江州区)
银川市(兴庆区、西夏区、灵武市、金凤区、贺兰县、永宁县)
铜仁市(印江土家族苗族自治县、万山区、石阡县、江口县、思南县、松桃苗族自治县、碧江区、德江县、沿河土家族自治县、玉屏侗族自治县)
天水市(清水县、武山县、甘谷县、秦州区、秦安县、张家川回族自治县、麦积区)
哈尔滨市(南岗区、阿城区、香坊区、松北区、宾县、五常市、道外区、延寿县、道里区、呼兰区、双城区、木兰县、尚志市、方正县、通河县、依兰县、巴彦县、平房区)
抚顺市(抚顺县、新宾满族自治县、顺城区、新抚区、清原满族自治县、望花区、东洲区)
金华市(金东区、婺城区、兰溪市、浦江县、东阳市、永康市、磐安县、武义县、义乌市)
平顶山市(卫东区、石龙区、新华区、汝州市、舞钢市、郏县、宝丰县、湛河区、叶县、鲁山县)
日照市(东港区、莒县、岚山区、五莲县)
巴音郭楞蒙古自治州(轮台县、焉耆回族自治县、和硕县、和静县、尉犁县、且末县、若羌县、博湖县、库尔勒市)
阳泉市(城区、平定县、矿区、盂县、郊区)
宿州市(埇桥区、泗县、萧县、灵璧县、砀山县)
长春市(绿园区、公主岭市、九台区、农安县、南关区、榆树市、二道区、德惠市、双阳区、宽城区、朝阳区)
南宁市(上林县、江南区、邕宁区、马山县、良庆区、兴宁区、青秀区、横州市、隆安县、宾阳县、武鸣区、西乡塘区)
舟山市(岱山县、普陀区、定海区、嵊泗县)
锦州市(北镇市、义县、太和区、凌海市、黑山县、凌河区、古塔区)
眉山市(仁寿县、东坡区、彭山区、丹棱县、青神县、洪雅县)
三亚市(崖州区、天涯区、吉阳区、海棠区)
白银市(景泰县、会宁县、靖远县、白银区、平川区)
晋城市(陵川县、高平市、城区、沁水县、阳城县、泽州县)
吉林市(船营区、昌邑区、永吉县、蛟河市、丰满区、舒兰市、龙潭区、桦甸市、磐石市)
武汉市(东西湖区、蔡甸区、青山区、洪山区、汉南区、江岸区、江夏区、江汉区、黄陂区、武昌区、硚口区、新洲区、汉阳区)
承德市(承德县、丰宁满族自治县、双滦区、平泉市、围场满族蒙古族自治县、兴隆县、双桥区、隆化县、鹰手营子矿区、宽城满族自治县、滦平县)
芜湖市(湾沚区、鸠江区、无为市、繁昌区、弋江区、镜湖区、南陵县)
吕梁市(离石区、汾阳市、交城县、文水县、中阳县、孝义市、石楼县、柳林县、交口县、临县、方山县、岚县、兴县)
大理白族自治州(大理市、宾川县、鹤庆县、漾濞彝族自治县、南涧彝族自治县、弥渡县、永平县、祥云县、剑川县、洱源县、巍山彝族回族自治县、云龙县)
昌吉回族自治州(呼图壁县、玛纳斯县、奇台县、昌吉市、木垒哈萨克自治县、吉木萨尔县、阜康市)
苏州市(常熟市、虎丘区、吴江区、太仓市、张家港市、姑苏区、吴中区、相城区、昆山市)
内蒙古自治区
白山市(浑江区、靖宇县、江源区、抚松县、临江市、长白朝鲜族自治县)
大同市(浑源县、广灵县、云冈区、新荣区、阳高县、灵丘县、云州区、天镇县、左云县、平城区)
枣庄市(台儿庄区、市中区、山亭区、峄城区、滕州市、薛城区)
宣城市(宣州区、宁国市、绩溪县、郎溪县、旌德县、泾县、广德市)
保山市(昌宁县、施甸县、腾冲市、龙陵县、隆阳区)
宝鸡市(陈仓区、陇县、渭滨区、金台区、扶风县、千阳县、岐山县、太白县、凤翔区、麟游县、眉县、凤县)
黔东南苗族侗族自治州(丹寨县、三穗县、剑河县、从江县、镇远县、凯里市、榕江县、台江县、锦屏县、岑巩县、施秉县、雷山县、黄平县、黎平县、天柱县、麻江县)
兰州市(永登县、七里河区、红古区、西固区、皋兰县、榆中县、城关区、安宁区)
锡林郭勒盟(阿巴嘎旗、锡林浩特市、太仆寺旗、东乌珠穆沁旗、二连浩特市、正蓝旗、苏尼特右旗、镶黄旗、多伦县、西乌珠穆沁旗、苏尼特左旗、正镶白旗)
丹东市(振兴区、宽甸满族自治县、振安区、凤城市、东港市、元宝区)
博尔塔拉蒙古自治州(精河县、博乐市、阿拉山口市、温泉县)
钦州市(钦南区、灵山县、钦北区、浦北县)
常德市(安乡县、汉寿县、津市市、桃源县、临澧县、石门县、鼎城区、武陵区、澧县)
黄石市(黄石港区、西塞山区、下陆区、阳新县、铁山区、大冶市)
镇江市(京口区、扬中市、丹徒区、润州区、丹阳市、句容市)
荆门市(沙洋县、京山市、东宝区、掇刀区、钟祥市)
重庆市(南川区、万州区、巫溪县、九龙坡区、开州区、垫江县、彭水苗族土家族自治县、巴南区、巫山县、梁平区、合川区、大渡口区、潼南区、忠县、大足区、丰都县、沙坪坝区、綦江区、奉节县、秀山土家族苗族自治县、永川区、荣昌区、江北区、武隆区、涪陵区、长寿区、云阳县、江津区、石柱土家族自治县、城口县、渝中区、渝北区、铜梁区、北碚区、酉阳土家族苗族自治县、黔江区、璧山区、南岸区)
昌都市(丁青县、左贡县、八宿县、芒康县、边坝县、江达县、察雅县、卡若区、洛隆县、贡觉县、类乌齐县)
泉州市(泉港区、金门县、南安市、永春县、德化县、晋江市、丰泽区、石狮市、洛江区、鲤城区、安溪县、惠安县)
牡丹江市(西安区、爱民区、宁安市、东安区、阳明区、林口县、东宁市、绥芬河市、海林市、穆棱市)
伊春市(嘉荫县、大箐山县、金林区、乌翠区、汤旺县、丰林县、伊美区、南岔县、友好区、铁力市)
渭南市(大荔县、华阴市、白水县、韩城市、澄城县、蒲城县、富平县、合阳县、华州区、潼关县、临渭区)
阿克苏地区(乌什县、阿瓦提县、柯坪县、沙雅县、温宿县、新和县、阿克苏市、库车市、拜城县)
绵阳市(涪城区、梓潼县、安州区、游仙区、平武县、江油市、盐亭县、北川羌族自治县、三台县)
广州市(从化区、天河区、花都区、黄埔区、增城区、越秀区、海珠区、白云区、南沙区、荔湾区、番禺区)
汕尾市(陆丰市、陆河县、城区、海丰县)
烟台市(福山区、牟平区、招远市、莱州市、蓬莱区、莱阳市、莱山区、龙口市、海阳市、芝罘区、栖霞市)
德宏傣族景颇族自治州(梁河县、瑞丽市、陇川县、盈江县、芒市)
盘锦市(双台子区、大洼区、盘山县、兴隆台区)
兴安盟(乌兰浩特市、科尔沁右翼中旗、扎赉特旗、阿尔山市、突泉县、科尔沁右翼前旗)
景德镇市(昌江区、浮梁县、乐平市、珠山区)
广西壮族自治区
石嘴山市(平罗县、大武口区、惠农区)
丽水市(青田县、云和县、莲都区、景宁畲族自治县、龙泉市、遂昌县、庆元县、缙云县、松阳县)
南京市(鼓楼区、建邺区、浦口区、栖霞区、玄武区、高淳区、秦淮区、溧水区、江宁区、雨花台区、六合区)
黑河市(五大连池市、嫩江市、爱辉区、孙吴县、逊克县、北安市)
庆阳市(正宁县、合水县、宁县、环县、庆城县、西峰区、镇原县、华池县)
肇庆市(四会市、端州区、德庆县、鼎湖区、高要区、怀集县、封开县、广宁县)
萍乡市(芦溪县、上栗县、湘东区、安源区、莲花县)
吐鲁番市(托克逊县、鄯善县、高昌区)
山南市(乃东区、扎囊县、措美县、隆子县、贡嘎县、曲松县、错那市、加查县、桑日县、洛扎县、琼结县、浪卡子县)
延安市(黄龙县、延长县、志丹县、洛川县、宝塔区、安塞区、黄陵县、甘泉县、吴起县、子长市、富县、延川县、宜川县)
儋州市
赣州市(宁都县、信丰县、会昌县、章贡区、龙南市、上犹县、寻乌县、瑞金市、定南县、石城县、兴国县、南康区、于都县、全南县、崇义县、安远县、赣县区、大余县)
安庆市(大观区、怀宁县、桐城市、迎江区、太湖县、宜秀区、潜山市、岳西县、宿松县、望江县)
云浮市(新兴县、郁南县、云城区、罗定市、云安区)
绥化市(望奎县、青冈县、肇东市、绥棱县、安达市、北林区、兰西县、明水县、海伦市、庆安县)
南平市(顺昌县、浦城县、光泽县、建瓯市、邵武市、武夷山市、松溪县、延平区、建阳区、政和县)
连云港市(海州区、赣榆区、灌云县、连云区、灌南县、东海县)
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新疆维吾尔自治区
海东市(乐都区、民和回族土族自治县、循化撒拉族自治县、平安区、化隆回族自治县、互助土族自治县)
安顺市(平坝区、西秀区、紫云苗族布依族自治县、普定县、关岭布依族苗族自治县、镇宁布依族苗族自治县)
三明市(沙县区、将乐县、清流县、永安市、建宁县、泰宁县、宁化县、大田县、明溪县、三元区、尤溪县)
黔南布依族苗族自治州(都匀市、平塘县、罗甸县、独山县、贵定县、瓮安县、惠水县、三都水族自治县、龙里县、福泉市、荔波县、长顺县)
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铜川市(王益区、印台区、宜君县、耀州区)
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中国半导体设备产业动态频频,以中微公司和北方华创为代表的国内龙头企业纷纷展现强劲的增长势头和战略布局。中微公司通过大幅增资强化技术研发和市场拓展,巩固其在刻蚀设备领域的领先地位;北方华创则通过对外投资和股权收购,积极拓展业务版图,并在业绩上实现显著增长。
众所周知,中国正在加紧推进半导体的国产化进程,其中设备作为半导体产业的基石,其国产化水平决定着整个半导体产业链的自主可控程度。近期有预测称,到2025年中国大陆半导体设备整体国产化率有望达到50%,该消息引起了行业一众关注。究竟真实进展如何?
中微公司增资至40亿,增幅300%
4月21日,企查查显示,中微半导体(上海)有限公司宣布注册资本由10亿元人民币增至40亿元人民币,增幅达300%。通过增资,中微公司将进一步增强资金实力,加速技术研发和市场拓展,提升在全球半导体设备市场的竞争力。
中微公司2024年财报显示,公司实现营业收入90.65亿元,同比增长44.7%,其中刻蚀设备贡献超72亿元,同比增长54.7%,稳居国产刻蚀设备龙头。尽管净利润约16.16亿元,同比下滑9.5%,但扣非净利润约13.88亿元,同比增长16.5%。这一下滑主要受研发投入激增影响,2024年研发费用达24.5亿元,同比增长94.3%。公司创始人尹志尧表示,2024年人均销售超过400万元,达到设备产业国际先进水平。
从出货设备来看,刻蚀领域,该公司的CCP刻蚀设备2024年生产付运超过1200反应台,创历史新高,累计装机量超过4000反应台;薄膜沉积设备领域,LPCVD设备累计出货量已突破150个反应台,2024年获得约4.76亿元批量订单,ALD(原子层沉积)设备和其他关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进,EPI(外延)设备已顺利进入客户端量产验证阶段。
量测设备领域,中微公司控股子公司超微半导体设备(上海)有限公司拟增资至1.6亿元,中微公司持股比例将降至47.2%,但仍保持控制权。据悉,超微公司重点开发电子束量检测设备,该设备是芯片制造和先进封装工艺中的关键设备,对我国发展新质生产力至关重要。
今年1月,中微公司计划在成都市高新区投资设立全资子公司中微半导体设备(成都)有限公司,建设研发及生产基地暨西南总部项目。项目总投资约30.5亿元,主要用于研发薄膜设备。该公司将作为中微公司的西南总部,建设包括研发中心、生产基地和配套设施,预计2025年开工,2027年投入生产。
北方华创:拟向全资子公司增资4亿元,并参与北京电控增资
4月18日,北方华创公告,公司拟以全资子公司北方华创创新投资(北京)有限公司作为出资平台,与北京电子控股有限责任公司(以下简称“北京电控”)各出资4亿元人民币,以非公开协议方式向北京电控控股子公司北京电控产业投资有限公司增资。
据悉,电控产投将主要通过基金和股权投资方式,围绕集成电路、人工智能、物联网等应用领域,投资布局发展潜力大、技术或产品好的标的企业。此次增资总额为8亿元,其中北方华创出资4亿元,北京电控出资4亿元。增资完成后,电控产投注册资本将增至18.57亿元,北方华创持股比例为17.6847%。
资料显示,电控产投成立于2008年10月30日,注册资本12亿元,股权结构上,北京电控持有50%的股权、京东方持有33.3%股权、电子城持有16.7%股权。
值得注意的是,当前北方华创持续扩大业务布局。今年3月31日,北方华创公告,受让沈阳中科天盛自动化技术有限公司(下称“中科天盛”)持有的芯源微股份1690万股,占芯源微总股本的8.41%。更早前的3月10日,北方华创与沈阳先进制造技术产业有限公司(下称“先进制造”)签署了股份转让协议,北方华创拟受让先进制造持有的芯源微9.49%股份,合计1906.49万股,交易金额为16.87亿元。
受益于半导体行业回暖,北方华创业绩亮眼。2024年,北方华创实现营业收入298.38亿元,同比增长35.14%;归属于上市公司股东的净利润为56.21亿元,同比增长44.17%。该公司还发布了2025年一季度业绩预告显示,预计实现营收73.4亿元至89.8亿元,同比增长23.35%-50.91%;预计实现归母净利润14.2亿元至17.4亿元,同比增长24.69%-52.79%。
北方华创表示,2024年公司深耕半导体基础产品领域,经营业绩稳定增长。公司集成电路装备领域多款新产品取得突破,工艺覆盖度及市场占有率显著增长,产品销量同比大幅度增加。今年一季度,公司集成电路装备领域电容耦合等离子体刻蚀设备(CCP)、原子层沉积设备(ALD)、高端单片清洗机等多款新产品实现关键技术突破,工艺覆盖度显著增长,同时多款成熟产品市场占有率稳步提升。凭借优良的产品、技术和服务优势,公司市场份额持续扩大,营业收入同比提升。
中国半导体设备国产化进程飙升
据SEMI数据,中国作为全球最大的半导体消费市场,强劲的市场需求为半导体设备产业的发展提供了强大动力。近年来,国内半导体设备企业在技术突破和国产替代方面持续发力并取得显著进展。以北方华创、中微公司、盛美上海等为代表的设备公司,在技术研发和市场拓展上成果斐然,逐步成为市场竞争中的重要力量。截至2024年,中国半导体设备国产化率提升至13.6%,在刻蚀、清洗、去胶和CMP设备市场,国产化率已突破双位数。尽管光刻设备与国际先进水平仍存在差距,但也取得了部分突破。
全球前五大半导体设备厂商均专注于前道设备应用,分别是应用材料、ASML、东京电子、Lam Research和科磊(KLA)。其中,应用材料、东京电子、泛林半导体是平台型企业,业务横跨刻蚀、薄膜、清洗、离子注入等多个领域,而ASML和KLA属于细分领域龙头。从行业发展趋势来看,向平台型企业发展是进入全球设备第一梯队的关键路径。
由上表可知,在中国大陆,我国目前在发展平台型设备厂商方面卓有成效的主要有北方华创、中微公司、盛美上海和万业企业,而在各细分领域也出现了诸如拓荆科技、芯源微、华海清科、长川科技(维权)、精测电子、中科飞测等代表性企业。
我国设备平台型企业发展情况各有不同,北方华创发展较早,已形成规模,是国内唯一成型的平台型设备企业;中微公司和盛美上海处于加速成长阶段,具备一定规模;万业企业虽处于发展初期,但明确朝着“平台型”企业的目标迈进。从企业发展体量来看,自2022年起,设备行业诞生了北方华创和晶盛机电两个百亿设备巨头。
据全球半导体观察综合中国半导体产业协会、企业财报、半导体行业咨询公司等行业各方消息可知,我国在去胶、清洗、刻蚀设备方面国产化率较高;在CMP、热处理、薄膜沉积领域,近几年国产化取得明显突破;然而在量测、涂胶显影、光刻、离子注入等设备领域,仍较为薄弱。
去胶设备领域来看,中国半导体国产化率在2023-2024年显著提升,尤其在成熟制程(28nm及以上,下同)和中低端市场已实现较高替代率。综合行业多方数据显示,在中低端市场,国产化率约75%-90%,主要覆盖成熟制程、功率半导体、先进封装等领域;而在高端市场上,在先进逻辑芯片(14nm以下,下同)和高端存储芯片(3DNAND/DRAM)中,国产化率仍低于30%,这部分主要依赖东京电子、LamResearch等国际厂商。目前,我国在去胶设备领域的代表企业主要有屹唐半导体、浙江宇谦、上海稷以、北方华创、盛美上海等,总体来看国产设备在“去胶+清洗”集成设备中占优。
清洗设备领域,我国国产化率已不断提高至50-60%,代表企业主要有北方华创、盛美上海、至纯科技、芯源微、屹唐半导体等。
在刻蚀设备领域,我国在成熟制程国产化率约为50%-60%,主要应用于逻辑芯片、功率半导体和存储芯片(如3DNAND);而在先进制程,国产化率不足15%,高端市场被Lam Research、东京电子、应用材料等垄断。在该领域我国主要代表企业有中微公司、北方华创、嘉芯半导体、屹唐半导体等,另外拓荆科技、盛美上海、芯源微虽然没有专门推出转有的刻蚀设备,但其部分领域设备均有涉及刻蚀工艺。
在热处理设备领域,我国国产化率约为30%-40%,主要代表企业有北方华创、晶盛机电、中微公司、拓荆科技、嘉芯半导体等,另外华海清科、拓荆科技、芯源微部分领域设备均有涉及热处理工艺,占据一定市场份额。
PVD设备领域则是北方华创、捷佳伟创、嘉芯半导体、中电科、科睿设备有限公司、中科院沈阳科学仪器、合肥科晶材料、晶盛机电、中微公司、盛美上海、拓荆科技。该领域设备国产化率还处于较低水平,约为15%-20%,其中在先进制程领域,国产化率仅为10%左右,主要依赖进口。
半导体CMP设备领域,我国在成熟制程国产化率约15%-25%,主要应用于功率半导体、MEMS传感器等领域;而在先进制程上国产化率不足10%,高端市场由应用材料、荏原制作所等垄断。我国在该领域上的代表企业主要有盛美上海、华海清科、中国电科、鼎龙控股、烁科精微等。
涂胶显影设备是光刻工艺的核心设备之一,主要用于晶圆的光刻胶涂覆、显影等步骤。在该领域,我国国产化率约为10%-15%(主要集中在封装和成熟制程),前道设备国产化率不足10%。行业消息显示,涂胶显影设备的主要挑战在于设备稳定性、工艺精度(如均匀性控制)、与光刻机的协同适配方面。我国涂胶显影设备主要代表企业则是盛美上海、芯源微、北方华创、中微公司、华峰测控等。
在离子注入设备领域,我国在成熟制程上的国产化率约10%-20%,主要应用于功率半导体、MEMS传感器等非先进逻辑芯片领域;而在先进制程国产化率不足5%,市场由应用材料、Axcelis、日立国际电气主导。目前,国产设备在中高能量(>200keV)和超低能量(<1keV)离子注入领域仍落后,束流均匀性(±3%vs国际±1%)和稳定性待提升。而在晶圆尺寸适配上,12英寸设备成熟度低,8英寸设备逐步替代进口。此外在相关重要配件上如离子源、质量分析器等长期依赖进口。该领域我国主要代表企业为凯世通、中国电科、烁科中信科、北方华创、中微公司等。
半导体量测设备包括晶圆缺陷检测、关键尺寸测量(CD-SEM)、膜厚测量(椭偏仪)、套刻精度测量等,技术门槛极高。该领域整体国产化率约为10%-15%,我国主要在中低端设备和部分细分领域取得突破,其中前道高端设备(如EUV相关检测)国产化率不足5%。目前该领域的主要发展瓶颈在于核心光学部件(如高精度激光器)、算法软件(缺陷分类与数据分析)依赖进口,设备稳定性与海外巨头存在差距。在量测领域我国主要代表企业为上海微电子、中科飞测、精测电子、华海清科、北方华创等。
在半导体光刻设备前道制造(EUV/ArF浸没式)领域,国产化率约为0%-1%。而在成熟制程光刻机(KrF/i-line,90nm及以上),国产化率约10%-15%,主要用于功率半导体、MEMS、分立器件等领域。而在封装光刻机(后道先进封装),在上海微电子主导下,国产化率不断提升。在该领域我国的主要代表企业有上海微电子、中国电科、北方华创等。据悉,上海微电子计划推出支持55nm制程的KrF光刻机,并推进28nm光刻机量产验证。
新闻结尾
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