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许昌市(魏都区、长葛市、建安区、禹州市、鄢陵县、襄城县)

乐山市(峨边彝族自治县、马边彝族自治县、犍为县、市中区、夹江县、五通桥区、峨眉山市、井研县、沐川县、沙湾区、金口河区)

黔南布依族苗族自治州(惠水县、平塘县、都匀市、瓮安县、龙里县、独山县、罗甸县、福泉市、长顺县、三都水族自治县、荔波县、贵定县)

凉山彝族自治州(会东县、德昌县、会理市、越西县、普格县、西昌市、金阳县、盐源县、布拖县、冕宁县、宁南县、喜德县、甘洛县、木里藏族自治县、美姑县、雷波县、昭觉县)  保山市(龙陵县、腾冲市、隆阳区、施甸县、昌宁县)

临汾市(吉县、隰县、大宁县、安泽县、乡宁县、古县、霍州市、侯马市、翼城县、曲沃县、蒲县、尧都区、永和县、汾西县、浮山县、洪洞县、襄汾县)

白城市(洮南市、洮北区、通榆县、镇赉县、大安市)

淮南市(寿县、潘集区、谢家集区、八公山区、大通区、凤台县、田家庵区)

荆门市(沙洋县、东宝区、钟祥市、掇刀区、京山市)  五指山市(澄迈县、文昌市、保亭黎族苗族自治县、临高县、东方市、琼海市、定安县、乐东黎族自治县、白沙黎族自治县、昌江黎族自治县、陵水黎族自治县、屯昌县、琼中黎族苗族自治县、万宁市)

百色市(德保县、田东县、隆林各族自治县、靖西市、平果市、田阳区、右江区、乐业县、西林县、田林县、凌云县、那坡县)

永州市(江永县、新田县、零陵区、江华瑶族自治县、祁阳市、蓝山县、东安县、宁远县、冷水滩区、双牌县、道县)

西双版纳傣族自治州(勐腊县、景洪市、勐海县)

平凉市(华亭市、静宁县、庄浪县、崆峒区、泾川县、灵台县、崇信县)

昭通市(水富市、巧家县、永善县、彝良县、镇雄县、大关县、威信县、昭阳区、盐津县、绥江县、鲁甸县)

蚌埠市(禹会区、蚌山区、五河县、固镇县、龙子湖区、怀远县、淮上区)

山南市(措美县、曲松县、加查县、隆子县、错那市、浪卡子县、乃东区、琼结县、洛扎县、贡嘎县、桑日县、扎囊县)

遵义市(湄潭县、汇川区、凤冈县、正安县、余庆县、习水县、赤水市、仁怀市、播州区、红花岗区、道真仡佬族苗族自治县、桐梓县、务川仡佬族苗族自治县、绥阳县)

天津市(武清区、和平区、蓟州区、静海区、北辰区、河北区、西青区、东丽区、宝坻区、河西区、津南区、宁河区、河东区、南开区、滨海新区、红桥区)

黔西南布依族苗族自治州(安龙县、望谟县、晴隆县、册亨县、兴仁市、贞丰县、兴义市、普安县)

唐山市(滦南县、曹妃甸区、迁西县、开平区、丰南区、路南区、路北区、滦州市、玉田县、乐亭县、迁安市、遵化市、丰润区、古冶区)

资阳市(乐至县、雁江区、安岳县)

崇左市(大新县、扶绥县、江州区、龙州县、凭祥市、宁明县、天等县)

潍坊市(高密市、昌乐县、坊子区、青州市、奎文区、寒亭区、昌邑市、临朐县、安丘市、寿光市、诸城市、潍城区)

来宾市(金秀瑶族自治县、武宣县、兴宾区、合山市、象州县、忻城县)

恩施土家族苗族自治州(建始县、恩施市、巴东县、利川市、咸丰县、来凤县、宣恩县、鹤峰县)

黑河市(孙吴县、逊克县、五大连池市、北安市、爱辉区、嫩江市)

渭南市(合阳县、蒲城县、澄城县、韩城市、富平县、大荔县、白水县、华阴市、华州区、临渭区、潼关县)

咸阳市(彬州市、渭城区、秦都区、武功县、长武县、兴平市、三原县、永寿县、礼泉县、乾县、杨陵区、泾阳县、旬邑县、淳化县)

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吐鲁番市(高昌区、鄯善县、托克逊县)

青岛市(黄岛区、崂山区、胶州市、莱西市、李沧区、即墨区、市南区、市北区、城阳区、平度市)

抚州市(南丰县、东乡区、临川区、黎川县、广昌县、南城县、乐安县、金溪县、资溪县、宜黄县、崇仁县)

乌兰察布市(四子王旗、兴和县、察哈尔右翼中旗、凉城县、化德县、集宁区、察哈尔右翼后旗、卓资县、丰镇市、商都县、察哈尔右翼前旗)  延边朝鲜族自治州(龙井市、安图县、和龙市、图们市、汪清县、珲春市、敦化市、延吉市)

宿迁市(沭阳县、宿城区、泗洪县、宿豫区、泗阳县)

河源市(紫金县、东源县、和平县、连平县、源城区、龙川县)

湘潭市(湘乡市、湘潭县、雨湖区、韶山市、岳塘区)宣城市(绩溪县、宣州区、广德市、郎溪县、旌德县、泾县、宁国市)

忻州市(神池县、五寨县、忻府区、定襄县、原平市、岢岚县、偏关县、代县、静乐县、五台县、保德县、繁峙县、河曲县、宁武县)  衡水市(饶阳县、武强县、冀州区、故城县、武邑县、安平县、阜城县、枣强县、深州市、景县、桃城区)

锡林郭勒盟(镶黄旗、多伦县、西乌珠穆沁旗、苏尼特右旗、阿巴嘎旗、苏尼特左旗、正镶白旗、正蓝旗、太仆寺旗、锡林浩特市、二连浩特市、东乌珠穆沁旗)

临沂市(兰陵县、临沭县、郯城县、莒南县、费县、沂水县、河东区、沂南县、蒙阴县、平邑县、罗庄区、兰山区)

定西市(临洮县、漳县、渭源县、通渭县、陇西县、安定区、岷县)德宏傣族景颇族自治州(芒市、陇川县、瑞丽市、盈江县、梁河县)

海南藏族自治州(贵南县、同德县、兴海县、共和县、贵德县)

怀化市(通道侗族自治县、辰溪县、鹤城区、靖州苗族侗族自治县、洪江市、芷江侗族自治县、溆浦县、新晃侗族自治县、中方县、沅陵县、会同县、麻阳苗族自治县)

安顺市(紫云苗族布依族自治县、关岭布依族苗族自治县、平坝区、普定县、西秀区、镇宁布依族苗族自治县)

衢州市(衢江区、龙游县、柯城区、江山市、常山县、开化县)

白银市(平川区、景泰县、靖远县、白银区、会宁县)

七台河市(勃利县、桃山区、新兴区、茄子河区)

珠海市(金湾区、斗门区、香洲区)

白山市(浑江区、抚松县、江源区、长白朝鲜族自治县、靖宇县、临江市)

随州市(随县、曾都区、广水市)

濮阳市(华龙区、台前县、南乐县、濮阳县、清丰县、范县)

韶关市(浈江区、始兴县、翁源县、乐昌市、仁化县、曲江区、乳源瑶族自治县、武江区、新丰县、南雄市)

红河哈尼族彝族自治州(石屏县、屏边苗族自治县、金平苗族瑶族傣族自治县、元阳县、绿春县、蒙自市、河口瑶族自治县、泸西县、弥勒市、开远市、红河县、建水县、个旧市)

沧州市(河间市、新华区、沧县、盐山县、南皮县、运河区、东光县、黄骅市、海兴县、泊头市、孟村回族自治县、肃宁县、献县、任丘市、吴桥县、青县)

呼伦贝尔市(新巴尔虎左旗、鄂温克族自治旗、额尔古纳市、莫力达瓦达斡尔族自治旗、牙克石市、陈巴尔虎旗、扎赉诺尔区、满洲里市、根河市、阿荣旗、海拉尔区、新巴尔虎右旗、扎兰屯市、鄂伦春自治旗)

丹东市(凤城市、振安区、宽甸满族自治县、东港市、振兴区、元宝区)

东莞市

中国半导体设备产业动态频频，以中微公司和北方华创为代表的国内龙头企业纷纷展现强劲的增长势头和战略布局。中微公司通过大幅增资强化技术研发和市场拓展，巩固其在刻蚀设备领域的领先地位；北方华创则通过对外投资和股权收购，积极拓展业务版图，并在业绩上实现显著增长。

众所周知，中国正在加紧推进半导体的国产化进程，其中设备作为半导体产业的基石，其国产化水平决定着整个半导体产业链的自主可控程度。近期有预测称，到2025年中国大陆半导体设备整体国产化率有望达到50%，该消息引起了行业一众关注。究竟真实进展如何？

中微公司增资至40亿，增幅300%

4月21日，企查查显示，中微半导体（上海）有限公司宣布注册资本由10亿元人民币增至40亿元人民币，增幅达300%。通过增资，中微公司将进一步增强资金实力，加速技术研发和市场拓展，提升在全球半导体设备市场的竞争力。

中微公司2024年财报显示，公司实现营业收入90.65亿元，同比增长44.7%，其中刻蚀设备贡献超72亿元，同比增长54.7%，稳居国产刻蚀设备龙头。尽管净利润约16.16亿元，同比下滑9.5%，但扣非净利润约13.88亿元，同比增长16.5%。这一下滑主要受研发投入激增影响，2024年研发费用达24.5亿元，同比增长94.3%。公司创始人尹志尧表示，2024年人均销售超过400万元，达到设备产业国际先进水平。

从出货设备来看，刻蚀领域，该公司的CCP刻蚀设备2024年生产付运超过1200反应台，创历史新高，累计装机量超过4000反应台；薄膜沉积设备领域，LPCVD设备累计出货量已突破150个反应台，2024年获得约4.76亿元批量订单，ALD（原子层沉积）设备和其他关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进，EPI（外延）设备已顺利进入客户端量产验证阶段。

量测设备领域，中微公司控股子公司超微半导体设备（上海）有限公司拟增资至1.6亿元，中微公司持股比例将降至47.2%，但仍保持控制权。据悉，超微公司重点开发电子束量检测设备，该设备是芯片制造和先进封装工艺中的关键设备，对我国发展新质生产力至关重要。

今年1月，中微公司计划在成都市高新区投资设立全资子公司中微半导体设备（成都）有限公司，建设研发及生产基地暨西南总部项目。项目总投资约30.5亿元，主要用于研发薄膜设备。该公司将作为中微公司的西南总部，建设包括研发中心、生产基地和配套设施，预计2025年开工，2027年投入生产。

北方华创：拟向全资子公司增资4亿元，并参与北京电控增资

4月18日，北方华创公告，公司拟以全资子公司北方华创创新投资(北京)有限公司作为出资平台，与北京电子控股有限责任公司（以下简称“北京电控”）各出资4亿元人民币，以非公开协议方式向北京电控控股子公司北京电控产业投资有限公司增资。

据悉，电控产投将主要通过基金和股权投资方式，围绕集成电路、人工智能、物联网等应用领域，投资布局发展潜力大、技术或产品好的标的企业。此次增资总额为8亿元，其中北方华创出资4亿元，北京电控出资4亿元。增资完成后，电控产投注册资本将增至18.57亿元，北方华创持股比例为17.6847%。

资料显示，电控产投成立于2008年10月30日，注册资本12亿元，股权结构上，北京电控持有50%的股权、京东方持有33.3%股权、电子城持有16.7%股权。

值得注意的是，当前北方华创持续扩大业务布局。今年3月31日，北方华创公告，受让沈阳中科天盛自动化技术有限公司（下称“中科天盛”）持有的芯源微股份1690万股，占芯源微总股本的8.41%。更早前的3月10日，北方华创与沈阳先进制造技术产业有限公司（下称“先进制造”）签署了股份转让协议，北方华创拟受让先进制造持有的芯源微9.49%股份，合计1906.49万股，交易金额为16.87亿元。

受益于半导体行业回暖，北方华创业绩亮眼。2024年，北方华创实现营业收入298.38亿元，同比增长35.14%；归属于上市公司股东的净利润为56.21亿元，同比增长44.17%。该公司还发布了2025年一季度业绩预告显示，预计实现营收73.4亿元至89.8亿元，同比增长23.35%-50.91%；预计实现归母净利润14.2亿元至17.4亿元，同比增长24.69%-52.79%。

北方华创表示，2024年公司深耕半导体基础产品领域，经营业绩稳定增长。公司集成电路装备领域多款新产品取得突破，工艺覆盖度及市场占有率显著增长，产品销量同比大幅度增加。今年一季度，公司集成电路装备领域电容耦合等离子体刻蚀设备（CCP）、原子层沉积设备（ALD）、高端单片清洗机等多款新产品实现关键技术突破，工艺覆盖度显著增长，同时多款成熟产品市场占有率稳步提升。凭借优良的产品、技术和服务优势，公司市场份额持续扩大，营业收入同比提升。

中国半导体设备国产化进程飙升

据SEMI数据，中国作为全球最大的半导体消费市场，强劲的市场需求为半导体设备产业的发展提供了强大动力。近年来，国内半导体设备企业在技术突破和国产替代方面持续发力并取得显著进展。以北方华创、中微公司、盛美上海等为代表的设备公司，在技术研发和市场拓展上成果斐然，逐步成为市场竞争中的重要力量。截至2024年，中国半导体设备国产化率提升至13.6%，在刻蚀、清洗、去胶和CMP设备市场，国产化率已突破双位数。尽管光刻设备与国际先进水平仍存在差距，但也取得了部分突破。

全球前五大半导体设备厂商均专注于前道设备应用，分别是应用材料、ASML、东京电子、Lam Research和科磊（KLA）。其中，应用材料、东京电子、泛林半导体是平台型企业，业务横跨刻蚀、薄膜、清洗、离子注入等多个领域，而ASML和KLA属于细分领域龙头。从行业发展趋势来看，向平台型企业发展是进入全球设备第一梯队的关键路径。

由上表可知，在中国大陆，我国目前在发展平台型设备厂商方面卓有成效的主要有北方华创、中微公司、盛美上海和万业企业，而在各细分领域也出现了诸如拓荆科技、芯源微、华海清科、长川科技（维权）、精测电子、中科飞测等代表性企业。

我国设备平台型企业发展情况各有不同，北方华创发展较早，已形成规模，是国内唯一成型的平台型设备企业；中微公司和盛美上海处于加速成长阶段，具备一定规模；万业企业虽处于发展初期，但明确朝着“平台型”企业的目标迈进。从企业发展体量来看，自2022年起，设备行业诞生了北方华创和晶盛机电两个百亿设备巨头。

据全球半导体观察综合中国半导体产业协会、企业财报、半导体行业咨询公司等行业各方消息可知，我国在去胶、清洗、刻蚀设备方面国产化率较高；在CMP、热处理、薄膜沉积领域，近几年国产化取得明显突破；然而在量测、涂胶显影、光刻、离子注入等设备领域，仍较为薄弱。

去胶设备领域来看，中国半导体国产化率在2023-2024年显著提升，尤其在成熟制程（28nm及以上，下同）和中低端市场已实现较高替代率。综合行业多方数据显示，在中低端市场，国产化率约75%-90%，主要覆盖成熟制程、功率半导体、先进封装等领域；而在高端市场上，在先进逻辑芯片（14nm以下，下同）和高端存储芯片（3DNAND/DRAM）中，国产化率仍低于30%，这部分主要依赖东京电子、LamResearch等国际厂商。目前，我国在去胶设备领域的代表企业主要有屹唐半导体、浙江宇谦、上海稷以、北方华创、盛美上海等，总体来看国产设备在“去胶+清洗”集成设备中占优。

清洗设备领域，我国国产化率已不断提高至50-60%，代表企业主要有北方华创、盛美上海、至纯科技、芯源微、屹唐半导体等。

在刻蚀设备领域，我国在成熟制程国产化率约为50%-60%，主要应用于逻辑芯片、功率半导体和存储芯片（如3DNAND）；而在先进制程，国产化率不足15%，高端市场被Lam Research、东京电子、应用材料等垄断。在该领域我国主要代表企业有中微公司、北方华创、嘉芯半导体、屹唐半导体等，另外拓荆科技、盛美上海、芯源微虽然没有专门推出转有的刻蚀设备，但其部分领域设备均有涉及刻蚀工艺。

在热处理设备领域，我国国产化率约为30%-40%，主要代表企业有北方华创、晶盛机电、中微公司、拓荆科技、嘉芯半导体等，另外华海清科、拓荆科技、芯源微部分领域设备均有涉及热处理工艺，占据一定市场份额。

PVD设备领域则是北方华创、捷佳伟创、嘉芯半导体、中电科、科睿设备有限公司、中科院沈阳科学仪器、合肥科晶材料、晶盛机电、中微公司、盛美上海、拓荆科技。该领域设备国产化率还处于较低水平，约为15%-20%，其中在先进制程领域，国产化率仅为10%左右，主要依赖进口。

半导体CMP设备领域，我国在成熟制程国产化率约15%-25%，主要应用于功率半导体、MEMS传感器等领域；而在先进制程上国产化率不足10%，高端市场由应用材料、荏原制作所等垄断。我国在该领域上的代表企业主要有盛美上海、华海清科、中国电科、鼎龙控股、烁科精微等。

涂胶显影设备是光刻工艺的核心设备之一，主要用于晶圆的光刻胶涂覆、显影等步骤。在该领域，我国国产化率约为10%-15%（主要集中在封装和成熟制程），前道设备国产化率不足10%。行业消息显示，涂胶显影设备的主要挑战在于设备稳定性、工艺精度（如均匀性控制）、与光刻机的协同适配方面。我国涂胶显影设备主要代表企业则是盛美上海、芯源微、北方华创、中微公司、华峰测控等。

在离子注入设备领域，我国在成熟制程上的国产化率约10%-20%，主要应用于功率半导体、MEMS传感器等非先进逻辑芯片领域；而在先进制程国产化率不足5%，市场由应用材料、Axcelis、日立国际电气主导。目前，国产设备在中高能量（>200keV）和超低能量（<1keV）离子注入领域仍落后，束流均匀性（±3%vs国际±1%）和稳定性待提升。而在晶圆尺寸适配上，12英寸设备成熟度低，8英寸设备逐步替代进口。此外在相关重要配件上如离子源、质量分析器等长期依赖进口。该领域我国主要代表企业为凯世通、中国电科、烁科中信科、北方华创、中微公司等。

半导体量测设备包括晶圆缺陷检测、关键尺寸测量（CD-SEM）、膜厚测量（椭偏仪）、套刻精度测量等，技术门槛极高。该领域整体国产化率约为10%-15%，我国主要在中低端设备和部分细分领域取得突破，其中前道高端设备（如EUV相关检测）国产化率不足5%。目前该领域的主要发展瓶颈在于核心光学部件（如高精度激光器）、算法软件（缺陷分类与数据分析）依赖进口，设备稳定性与海外巨头存在差距。在量测领域我国主要代表企业为上海微电子、中科飞测、精测电子、华海清科、北方华创等。

在半导体光刻设备前道制造（EUV/ArF浸没式）领域，国产化率约为0%-1％。而在成熟制程光刻机（KrF/i-line，90nm及以上），国产化率约10%-15%，主要用于功率半导体、MEMS、分立器件等领域。而在封装光刻机（后道先进封装），在上海微电子主导下，国产化率不断提升。在该领域我国的主要代表企业有上海微电子、中国电科、北方华创等。据悉，上海微电子计划推出支持55nm制程的KrF光刻机，并推进28nm光刻机量产验证。