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和田地区(墨玉县、和田市、皮山县、和田县、策勒县、洛浦县、民丰县、于田县)

枣庄市(台儿庄区、薛城区、山亭区、市中区、峄城区、滕州市)

钦州市(浦北县、灵山县、钦南区、钦北区)

张家界市(武陵源区、慈利县、永定区、桑植县)  桂林市(秀峰区、龙胜各族自治县、兴安县、临桂区、平乐县、恭城瑶族自治县、象山区、雁山区、全州县、叠彩区、阳朔县、灵川县、七星区、灌阳县、荔浦市、永福县、资源县)

大理白族自治州(宾川县、大理市、洱源县、弥渡县、云龙县、巍山彝族回族自治县、剑川县、南涧彝族自治县、祥云县、永平县、鹤庆县、漾濞彝族自治县)

晋中市(榆次区、平遥县、灵石县、左权县、和顺县、寿阳县、介休市、昔阳县、榆社县、祁县、太谷区)

阜新市(清河门区、新邱区、彰武县、细河区、太平区、阜新蒙古族自治县、海州区)泰安市(宁阳县、岱岳区、泰山区、肥城市、东平县、新泰市)

日照市(莒县、岚山区、五莲县、东港区)  绍兴市(诸暨市、新昌县、嵊州市、柯桥区、越城区、上虞区)

日喀则市(江孜县、桑珠孜区、萨迦县、萨嘎县、白朗县、定日县、仁布县、拉孜县、岗巴县、吉隆县、谢通门县、聂拉木县、定结县、康马县、仲巴县、南木林县、亚东县、昂仁县)

鸡西市(梨树区、虎林市、鸡冠区、麻山区、鸡东县、恒山区、滴道区、密山市、城子河区)

济南市(槐荫区、平阴县、历下区、历城区、长清区、市中区、商河县、莱芜区、章丘区、济阳区、钢城区、天桥区)

舟山市(岱山县、普陀区、定海区、嵊泗县)

北海市(银海区、海城区、合浦县、铁山港区)

四平市(铁西区、双辽市、梨树县、伊通满族自治县、铁东区)

郴州市(宜章县、汝城县、桂阳县、桂东县、安仁县、永兴县、苏仙区、北湖区、资兴市、临武县、嘉禾县)

玉树藏族自治州(杂多县、治多县、曲麻莱县、称多县、囊谦县、玉树市)

宝鸡市(岐山县、眉县、凤翔区、麟游县、千阳县、渭滨区、陈仓区、金台区、陇县、凤县、太白县、扶风县)

延安市(延川县、洛川县、富县、宜川县、延长县、志丹县、黄龙县、宝塔区、子长市、黄陵县、安塞区、吴起县、甘泉县)

许昌市(长葛市、禹州市、建安区、襄城县、鄢陵县、魏都区)

清远市(英德市、连山壮族瑶族自治县、阳山县、佛冈县、连南瑶族自治县、清新区、连州市、清城区)

汕头市(南澳县、龙湖区、潮南区、濠江区、澄海区、金平区、潮阳区)

大连市(普兰店区、甘井子区、庄河市、西岗区、中山区、长海县、旅顺口区、金州区、沙河口区、瓦房店市)

达州市(通川区、达川区、渠县、万源市、开江县、宣汉县、大竹县)

株洲市(芦淞区、炎陵县、渌口区、天元区、醴陵市、攸县、茶陵县、石峰区、荷塘区)

本溪市(南芬区、平山区、桓仁满族自治县、本溪满族自治县、溪湖区、明山区)

赣州市(龙南市、于都县、南康区、兴国县、上犹县、宁都县、信丰县、石城县、定南县、赣县区、大余县、章贡区、寻乌县、会昌县、全南县、瑞金市、安远县、崇义县)

恩施土家族苗族自治州(利川市、恩施市、建始县、咸丰县、宣恩县、来凤县、巴东县、鹤峰县)

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龙岩市(上杭县、武平县、永定区、新罗区、连城县、漳平市、长汀县)

大同市(阳高县、灵丘县、新荣区、云冈区、云州区、浑源县、天镇县、广灵县、平城区、左云县)

迪庆藏族自治州(德钦县、香格里拉市、维西傈僳族自治县)

宣城市(广德市、泾县、绩溪县、宁国市、宣州区、郎溪县、旌德县)  东莞市

泉州市(惠安县、永春县、泉港区、安溪县、丰泽区、鲤城区、德化县、晋江市、石狮市、洛江区、金门县、南安市)

抚顺市(清原满族自治县、新抚区、东洲区、望花区、顺城区、新宾满族自治县、抚顺县)

澳门特别行政区阜阳市(界首市、太和县、颍州区、临泉县、颍泉区、颍上县、阜南县、颍东区)

厦门市(海沧区、湖里区、集美区、思明区、同安区、翔安区)  随州市(随县、曾都区、广水市)

南京市(高淳区、栖霞区、雨花台区、鼓楼区、建邺区、溧水区、秦淮区、浦口区、玄武区、江宁区、六合区)

济宁市(微山县、汶上县、泗水县、金乡县、鱼台县、任城区、梁山县、邹城市、兖州区、嘉祥县、曲阜市)

张掖市(肃南裕固族自治县、临泽县、民乐县、山丹县、甘州区、高台县)青岛市(即墨区、城阳区、李沧区、平度市、崂山区、莱西市、市北区、胶州市、黄岛区、市南区)

鞍山市(海城市、千山区、立山区、铁东区、台安县、铁西区、岫岩满族自治县)

五指山市(东方市、临高县、昌江黎族自治县、琼海市、万宁市、文昌市、定安县、澄迈县、琼中黎族苗族自治县、屯昌县、保亭黎族苗族自治县、乐东黎族自治县、陵水黎族自治县、白沙黎族自治县)

乐山市(市中区、沐川县、峨边彝族自治县、犍为县、夹江县、峨眉山市、沙湾区、金口河区、五通桥区、马边彝族自治县、井研县)

湖州市(吴兴区、德清县、南浔区、安吉县、长兴县)

丽江市(玉龙纳西族自治县、宁蒗彝族自治县、永胜县、华坪县、古城区)

自贡市(贡井区、沿滩区、大安区、自流井区、富顺县、荣县)

湘潭市(岳塘区、雨湖区、湘乡市、韶山市、湘潭县)

白山市(浑江区、靖宇县、临江市、江源区、长白朝鲜族自治县、抚松县)

临夏回族自治州(康乐县、积石山保安族东乡族撒拉族自治县、临夏市、东乡族自治县、和政县、临夏县、永靖县、广河县)

重庆市(巫溪县、大足区、沙坪坝区、合川区、巴南区、涪陵区、黔江区、开州区、江津区、渝中区、潼南区、巫山县、江北区、大渡口区、綦江区、垫江县、丰都县、酉阳土家族苗族自治县、南川区、武隆区、彭水苗族土家族自治县、云阳县、城口县、铜梁区、九龙坡区、南岸区、渝北区、永川区、万州区、梁平区、璧山区、长寿区、忠县、北碚区、奉节县、秀山土家族苗族自治县、荣昌区、石柱土家族自治县)

徐州市(鼓楼区、沛县、新沂市、铜山区、贾汪区、睢宁县、邳州市、丰县、泉山区、云龙区)

济源市

忻州市(河曲县、静乐县、定襄县、忻府区、宁武县、保德县、五台县、神池县、五寨县、代县、岢岚县、繁峙县、原平市、偏关县)

海西蒙古族藏族自治州(茫崖市、德令哈市、乌兰县、天峻县、都兰县、格尔木市)

昆明市(呈贡区、石林彝族自治县、宜良县、西山区、盘龙区、晋宁区、东川区、嵩明县、官渡区、富民县、五华区、安宁市、禄劝彝族苗族自治县、寻甸回族彝族自治县)

聊城市(临清市、东昌府区、莘县、阳谷县、东阿县、冠县、高唐县、茌平区)

中国半导体设备产业动态频频，以中微公司和北方华创为代表的国内龙头企业纷纷展现强劲的增长势头和战略布局。中微公司通过大幅增资强化技术研发和市场拓展，巩固其在刻蚀设备领域的领先地位；北方华创则通过对外投资和股权收购，积极拓展业务版图，并在业绩上实现显著增长。

众所周知，中国正在加紧推进半导体的国产化进程，其中设备作为半导体产业的基石，其国产化水平决定着整个半导体产业链的自主可控程度。近期有预测称，到2025年中国大陆半导体设备整体国产化率有望达到50%，该消息引起了行业一众关注。究竟真实进展如何？

中微公司增资至40亿，增幅300%

4月21日，企查查显示，中微半导体（上海）有限公司宣布注册资本由10亿元人民币增至40亿元人民币，增幅达300%。通过增资，中微公司将进一步增强资金实力，加速技术研发和市场拓展，提升在全球半导体设备市场的竞争力。

中微公司2024年财报显示，公司实现营业收入90.65亿元，同比增长44.7%，其中刻蚀设备贡献超72亿元，同比增长54.7%，稳居国产刻蚀设备龙头。尽管净利润约16.16亿元，同比下滑9.5%，但扣非净利润约13.88亿元，同比增长16.5%。这一下滑主要受研发投入激增影响，2024年研发费用达24.5亿元，同比增长94.3%。公司创始人尹志尧表示，2024年人均销售超过400万元，达到设备产业国际先进水平。

从出货设备来看，刻蚀领域，该公司的CCP刻蚀设备2024年生产付运超过1200反应台，创历史新高，累计装机量超过4000反应台；薄膜沉积设备领域，LPCVD设备累计出货量已突破150个反应台，2024年获得约4.76亿元批量订单，ALD（原子层沉积）设备和其他关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进，EPI（外延）设备已顺利进入客户端量产验证阶段。

量测设备领域，中微公司控股子公司超微半导体设备（上海）有限公司拟增资至1.6亿元，中微公司持股比例将降至47.2%，但仍保持控制权。据悉，超微公司重点开发电子束量检测设备，该设备是芯片制造和先进封装工艺中的关键设备，对我国发展新质生产力至关重要。

今年1月，中微公司计划在成都市高新区投资设立全资子公司中微半导体设备（成都）有限公司，建设研发及生产基地暨西南总部项目。项目总投资约30.5亿元，主要用于研发薄膜设备。该公司将作为中微公司的西南总部，建设包括研发中心、生产基地和配套设施，预计2025年开工，2027年投入生产。

北方华创：拟向全资子公司增资4亿元，并参与北京电控增资

4月18日，北方华创公告，公司拟以全资子公司北方华创创新投资(北京)有限公司作为出资平台，与北京电子控股有限责任公司（以下简称“北京电控”）各出资4亿元人民币，以非公开协议方式向北京电控控股子公司北京电控产业投资有限公司增资。

据悉，电控产投将主要通过基金和股权投资方式，围绕集成电路、人工智能、物联网等应用领域，投资布局发展潜力大、技术或产品好的标的企业。此次增资总额为8亿元，其中北方华创出资4亿元，北京电控出资4亿元。增资完成后，电控产投注册资本将增至18.57亿元，北方华创持股比例为17.6847%。

资料显示，电控产投成立于2008年10月30日，注册资本12亿元，股权结构上，北京电控持有50%的股权、京东方持有33.3%股权、电子城持有16.7%股权。

值得注意的是，当前北方华创持续扩大业务布局。今年3月31日，北方华创公告，受让沈阳中科天盛自动化技术有限公司（下称“中科天盛”）持有的芯源微股份1690万股，占芯源微总股本的8.41%。更早前的3月10日，北方华创与沈阳先进制造技术产业有限公司（下称“先进制造”）签署了股份转让协议，北方华创拟受让先进制造持有的芯源微9.49%股份，合计1906.49万股，交易金额为16.87亿元。

受益于半导体行业回暖，北方华创业绩亮眼。2024年，北方华创实现营业收入298.38亿元，同比增长35.14%；归属于上市公司股东的净利润为56.21亿元，同比增长44.17%。该公司还发布了2025年一季度业绩预告显示，预计实现营收73.4亿元至89.8亿元，同比增长23.35%-50.91%；预计实现归母净利润14.2亿元至17.4亿元，同比增长24.69%-52.79%。

北方华创表示，2024年公司深耕半导体基础产品领域，经营业绩稳定增长。公司集成电路装备领域多款新产品取得突破，工艺覆盖度及市场占有率显著增长，产品销量同比大幅度增加。今年一季度，公司集成电路装备领域电容耦合等离子体刻蚀设备（CCP）、原子层沉积设备（ALD）、高端单片清洗机等多款新产品实现关键技术突破，工艺覆盖度显著增长，同时多款成熟产品市场占有率稳步提升。凭借优良的产品、技术和服务优势，公司市场份额持续扩大，营业收入同比提升。

中国半导体设备国产化进程飙升

据SEMI数据，中国作为全球最大的半导体消费市场，强劲的市场需求为半导体设备产业的发展提供了强大动力。近年来，国内半导体设备企业在技术突破和国产替代方面持续发力并取得显著进展。以北方华创、中微公司、盛美上海等为代表的设备公司，在技术研发和市场拓展上成果斐然，逐步成为市场竞争中的重要力量。截至2024年，中国半导体设备国产化率提升至13.6%，在刻蚀、清洗、去胶和CMP设备市场，国产化率已突破双位数。尽管光刻设备与国际先进水平仍存在差距，但也取得了部分突破。

全球前五大半导体设备厂商均专注于前道设备应用，分别是应用材料、ASML、东京电子、Lam Research和科磊（KLA）。其中，应用材料、东京电子、泛林半导体是平台型企业，业务横跨刻蚀、薄膜、清洗、离子注入等多个领域，而ASML和KLA属于细分领域龙头。从行业发展趋势来看，向平台型企业发展是进入全球设备第一梯队的关键路径。

由上表可知，在中国大陆，我国目前在发展平台型设备厂商方面卓有成效的主要有北方华创、中微公司、盛美上海和万业企业，而在各细分领域也出现了诸如拓荆科技、芯源微、华海清科、长川科技（维权）、精测电子、中科飞测等代表性企业。

我国设备平台型企业发展情况各有不同，北方华创发展较早，已形成规模，是国内唯一成型的平台型设备企业；中微公司和盛美上海处于加速成长阶段，具备一定规模；万业企业虽处于发展初期，但明确朝着“平台型”企业的目标迈进。从企业发展体量来看，自2022年起，设备行业诞生了北方华创和晶盛机电两个百亿设备巨头。

据全球半导体观察综合中国半导体产业协会、企业财报、半导体行业咨询公司等行业各方消息可知，我国在去胶、清洗、刻蚀设备方面国产化率较高；在CMP、热处理、薄膜沉积领域，近几年国产化取得明显突破；然而在量测、涂胶显影、光刻、离子注入等设备领域，仍较为薄弱。

去胶设备领域来看，中国半导体国产化率在2023-2024年显著提升，尤其在成熟制程（28nm及以上，下同）和中低端市场已实现较高替代率。综合行业多方数据显示，在中低端市场，国产化率约75%-90%，主要覆盖成熟制程、功率半导体、先进封装等领域；而在高端市场上，在先进逻辑芯片（14nm以下，下同）和高端存储芯片（3DNAND/DRAM）中，国产化率仍低于30%，这部分主要依赖东京电子、LamResearch等国际厂商。目前，我国在去胶设备领域的代表企业主要有屹唐半导体、浙江宇谦、上海稷以、北方华创、盛美上海等，总体来看国产设备在“去胶+清洗”集成设备中占优。

清洗设备领域，我国国产化率已不断提高至50-60%，代表企业主要有北方华创、盛美上海、至纯科技、芯源微、屹唐半导体等。

在刻蚀设备领域，我国在成熟制程国产化率约为50%-60%，主要应用于逻辑芯片、功率半导体和存储芯片（如3DNAND）；而在先进制程，国产化率不足15%，高端市场被Lam Research、东京电子、应用材料等垄断。在该领域我国主要代表企业有中微公司、北方华创、嘉芯半导体、屹唐半导体等，另外拓荆科技、盛美上海、芯源微虽然没有专门推出转有的刻蚀设备，但其部分领域设备均有涉及刻蚀工艺。

在热处理设备领域，我国国产化率约为30%-40%，主要代表企业有北方华创、晶盛机电、中微公司、拓荆科技、嘉芯半导体等，另外华海清科、拓荆科技、芯源微部分领域设备均有涉及热处理工艺，占据一定市场份额。

PVD设备领域则是北方华创、捷佳伟创、嘉芯半导体、中电科、科睿设备有限公司、中科院沈阳科学仪器、合肥科晶材料、晶盛机电、中微公司、盛美上海、拓荆科技。该领域设备国产化率还处于较低水平，约为15%-20%，其中在先进制程领域，国产化率仅为10%左右，主要依赖进口。

半导体CMP设备领域，我国在成熟制程国产化率约15%-25%，主要应用于功率半导体、MEMS传感器等领域；而在先进制程上国产化率不足10%，高端市场由应用材料、荏原制作所等垄断。我国在该领域上的代表企业主要有盛美上海、华海清科、中国电科、鼎龙控股、烁科精微等。

涂胶显影设备是光刻工艺的核心设备之一，主要用于晶圆的光刻胶涂覆、显影等步骤。在该领域，我国国产化率约为10%-15%（主要集中在封装和成熟制程），前道设备国产化率不足10%。行业消息显示，涂胶显影设备的主要挑战在于设备稳定性、工艺精度（如均匀性控制）、与光刻机的协同适配方面。我国涂胶显影设备主要代表企业则是盛美上海、芯源微、北方华创、中微公司、华峰测控等。

在离子注入设备领域，我国在成熟制程上的国产化率约10%-20%，主要应用于功率半导体、MEMS传感器等非先进逻辑芯片领域；而在先进制程国产化率不足5%，市场由应用材料、Axcelis、日立国际电气主导。目前，国产设备在中高能量（>200keV）和超低能量（<1keV）离子注入领域仍落后，束流均匀性（±3%vs国际±1%）和稳定性待提升。而在晶圆尺寸适配上，12英寸设备成熟度低，8英寸设备逐步替代进口。此外在相关重要配件上如离子源、质量分析器等长期依赖进口。该领域我国主要代表企业为凯世通、中国电科、烁科中信科、北方华创、中微公司等。

半导体量测设备包括晶圆缺陷检测、关键尺寸测量（CD-SEM）、膜厚测量（椭偏仪）、套刻精度测量等，技术门槛极高。该领域整体国产化率约为10%-15%，我国主要在中低端设备和部分细分领域取得突破，其中前道高端设备（如EUV相关检测）国产化率不足5%。目前该领域的主要发展瓶颈在于核心光学部件（如高精度激光器）、算法软件（缺陷分类与数据分析）依赖进口，设备稳定性与海外巨头存在差距。在量测领域我国主要代表企业为上海微电子、中科飞测、精测电子、华海清科、北方华创等。

在半导体光刻设备前道制造（EUV/ArF浸没式）领域，国产化率约为0%-1％。而在成熟制程光刻机（KrF/i-line，90nm及以上），国产化率约10%-15%，主要用于功率半导体、MEMS、分立器件等领域。而在封装光刻机（后道先进封装），在上海微电子主导下，国产化率不断提升。在该领域我国的主要代表企业有上海微电子、中国电科、北方华创等。据悉，上海微电子计划推出支持55nm制程的KrF光刻机，并推进28nm光刻机量产验证。