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新余市(分宜县、渝水区)

那曲市(班戈县、双湖县、比如县、安多县、聂荣县、嘉黎县、色尼区、巴青县、索县、尼玛县、申扎县)

内蒙古自治区

枣庄市(峄城区、山亭区、台儿庄区、滕州市、薛城区、市中区)  西安市(碑林区、灞桥区、高陵区、莲湖区、新城区、周至县、阎良区、长安区、雁塔区、临潼区、未央区、鄠邑区、蓝田县)

牡丹江市(东宁市、宁安市、西安区、林口县、东安区、阳明区、海林市、爱民区、绥芬河市、穆棱市)

郑州市(巩义市、金水区、新郑市、中原区、二七区、上街区、管城回族区、新密市、荥阳市、惠济区、中牟县、登封市)

马鞍山市(花山区、和县、雨山区、当涂县、含山县、博望区)

绵阳市(盐亭县、涪城区、北川羌族自治县、平武县、三台县、江油市、游仙区、安州区、梓潼县)  漯河市(召陵区、郾城区、源汇区、临颍县、舞阳县)

株洲市(攸县、醴陵市、天元区、荷塘区、渌口区、芦淞区、炎陵县、石峰区、茶陵县)

衡阳市(祁东县、衡山县、常宁市、衡阳县、衡东县、珠晖区、雁峰区、石鼓区、蒸湘区、南岳区、衡南县、耒阳市)

新疆维吾尔自治区

泸州市(叙永县、古蔺县、龙马潭区、江阳区、泸县、合江县、纳溪区)

齐齐哈尔市(讷河市、梅里斯达斡尔族区、甘南县、昂昂溪区、铁锋区、泰来县、碾子山区、克东县、建华区、拜泉县、龙沙区、克山县、富拉尔基区、龙江县、依安县、富裕县)

梅州市(大埔县、梅江区、梅县区、蕉岭县、丰顺县、平远县、五华县、兴宁市)

菏泽市(定陶区、鄄城县、成武县、巨野县、东明县、郓城县、曹县、单县、牡丹区)

武汉市(新洲区、黄陂区、东西湖区、汉南区、武昌区、江汉区、洪山区、江夏区、青山区、江岸区、汉阳区、蔡甸区、硚口区)

黔南布依族苗族自治州(惠水县、平塘县、三都水族自治县、独山县、罗甸县、都匀市、长顺县、龙里县、荔波县、瓮安县、福泉市、贵定县)

阜阳市(颍上县、阜南县、颍泉区、颍东区、临泉县、界首市、太和县、颍州区)

长治市(壶关县、平顺县、沁源县、沁县、潞城区、上党区、长子县、屯留区、潞州区、襄垣县、黎城县、武乡县)

哈密市(伊吾县、巴里坤哈萨克自治县、伊州区)

自贡市(荣县、沿滩区、贡井区、大安区、自流井区、富顺县)

抚顺市(新抚区、清原满族自治县、东洲区、望花区、新宾满族自治县、抚顺县、顺城区)

锡林郭勒盟(镶黄旗、正镶白旗、太仆寺旗、多伦县、苏尼特左旗、二连浩特市、正蓝旗、苏尼特右旗、东乌珠穆沁旗、阿巴嘎旗、西乌珠穆沁旗、锡林浩特市)

鹤壁市(淇滨区、山城区、浚县、鹤山区、淇县)

咸宁市(赤壁市、通山县、崇阳县、咸安区、通城县、嘉鱼县)

湖州市(安吉县、南浔区、吴兴区、德清县、长兴县)

果洛藏族自治州(班玛县、玛沁县、玛多县、甘德县、达日县、久治县)

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绍兴市(嵊州市、上虞区、越城区、新昌县、诸暨市、柯桥区)

阜新市(海州区、新邱区、太平区、彰武县、细河区、阜新蒙古族自治县、清河门区)

定西市(岷县、陇西县、渭源县、漳县、临洮县、通渭县、安定区)

临沧市(云县、凤庆县、永德县、沧源佤族自治县、临翔区、耿马傣族佤族自治县、镇康县、双江拉祜族佤族布朗族傣族自治县)  本溪市(明山区、本溪满族自治县、平山区、桓仁满族自治县、溪湖区、南芬区)

南京市(秦淮区、浦口区、江宁区、玄武区、鼓楼区、雨花台区、溧水区、栖霞区、建邺区、高淳区、六合区)

保定市(涞水县、高碑店市、易县、安新县、徐水区、清苑区、雄县、竞秀区、安国市、唐县、望都县、容城县、定州市、阜平县、曲阳县、满城区、高阳县、莲池区、博野县、涿州市、定兴县、涞源县、蠡县、顺平县)

唐山市(乐亭县、滦南县、古冶区、迁安市、迁西县、路南区、路北区、开平区、玉田县、曹妃甸区、丰润区、丰南区、滦州市、遵化市)锦州市(凌海市、太和区、凌河区、黑山县、义县、古塔区、北镇市)

红河哈尼族彝族自治州(个旧市、红河县、元阳县、石屏县、蒙自市、绿春县、开远市、建水县、弥勒市、金平苗族瑶族傣族自治县、屏边苗族自治县、河口瑶族自治县、泸西县)  德阳市(中江县、旌阳区、什邡市、广汉市、绵竹市、罗江区)

克孜勒苏柯尔克孜自治州(乌恰县、阿图什市、阿合奇县、阿克陶县)

来宾市(象州县、兴宾区、武宣县、合山市、忻城县、金秀瑶族自治县)

揭阳市(揭西县、惠来县、榕城区、普宁市、揭东区)儋州市

张家口市(沽源县、下花园区、万全区、张北县、蔚县、阳原县、赤城县、桥西区、尚义县、宣化区、崇礼区、康保县、怀来县、桥东区、涿鹿县、怀安县)

葫芦岛市(绥中县、建昌县、龙港区、兴城市、连山区、南票区)

承德市(平泉市、宽城满族自治县、丰宁满族自治县、双滦区、鹰手营子矿区、承德县、围场满族蒙古族自治县、兴隆县、双桥区、隆化县、滦平县)

淮安市(清江浦区、盱眙县、涟水县、淮安区、洪泽区、淮阴区、金湖县)

焦作市(博爱县、解放区、武陟县、中站区、马村区、修武县、温县、山阳区、沁阳市、孟州市)

邢台市(广宗县、平乡县、柏乡县、临西县、宁晋县、内丘县、巨鹿县、南宫市、清河县、沙河市、新河县、隆尧县、威县、任泽区、信都区、南和区、襄都区、临城县)

毕节市(金沙县、纳雍县、威宁彝族回族苗族自治县、大方县、黔西市、赫章县、织金县、七星关区)

铜陵市(郊区、枞阳县、义安区、铜官区)

安阳市(内黄县、滑县、安阳县、汤阴县、林州市、文峰区、殷都区、龙安区、北关区)

乌兰察布市(化德县、察哈尔右翼前旗、察哈尔右翼后旗、商都县、兴和县、察哈尔右翼中旗、卓资县、丰镇市、集宁区、凉城县、四子王旗)

淮南市(潘集区、凤台县、寿县、八公山区、田家庵区、谢家集区、大通区)

白山市(抚松县、江源区、靖宇县、浑江区、临江市、长白朝鲜族自治县)

香港特别行政区

宜昌市(猇亭区、当阳市、秭归县、五峰土家族自治县、伍家岗区、西陵区、夷陵区、远安县、兴山县、长阳土家族自治县、点军区、枝江市、宜都市)

邯郸市(成安县、鸡泽县、肥乡区、曲周县、永年区、魏县、丛台区、峰峰矿区、临漳县、武安市、邯山区、涉县、大名县、磁县、广平县、邱县、复兴区、馆陶县)

临沂市(蒙阴县、罗庄区、临沭县、费县、沂水县、兰陵县、沂南县、平邑县、郯城县、莒南县、河东区、兰山区)

中国半导体设备产业动态频频，以中微公司和北方华创为代表的国内龙头企业纷纷展现强劲的增长势头和战略布局。中微公司通过大幅增资强化技术研发和市场拓展，巩固其在刻蚀设备领域的领先地位；北方华创则通过对外投资和股权收购，积极拓展业务版图，并在业绩上实现显著增长。

众所周知，中国正在加紧推进半导体的国产化进程，其中设备作为半导体产业的基石，其国产化水平决定着整个半导体产业链的自主可控程度。近期有预测称，到2025年中国大陆半导体设备整体国产化率有望达到50%，该消息引起了行业一众关注。究竟真实进展如何？

中微公司增资至40亿，增幅300%

4月21日，企查查显示，中微半导体（上海）有限公司宣布注册资本由10亿元人民币增至40亿元人民币，增幅达300%。通过增资，中微公司将进一步增强资金实力，加速技术研发和市场拓展，提升在全球半导体设备市场的竞争力。

中微公司2024年财报显示，公司实现营业收入90.65亿元，同比增长44.7%，其中刻蚀设备贡献超72亿元，同比增长54.7%，稳居国产刻蚀设备龙头。尽管净利润约16.16亿元，同比下滑9.5%，但扣非净利润约13.88亿元，同比增长16.5%。这一下滑主要受研发投入激增影响，2024年研发费用达24.5亿元，同比增长94.3%。公司创始人尹志尧表示，2024年人均销售超过400万元，达到设备产业国际先进水平。

从出货设备来看，刻蚀领域，该公司的CCP刻蚀设备2024年生产付运超过1200反应台，创历史新高，累计装机量超过4000反应台；薄膜沉积设备领域，LPCVD设备累计出货量已突破150个反应台，2024年获得约4.76亿元批量订单，ALD（原子层沉积）设备和其他关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进，EPI（外延）设备已顺利进入客户端量产验证阶段。

量测设备领域，中微公司控股子公司超微半导体设备（上海）有限公司拟增资至1.6亿元，中微公司持股比例将降至47.2%，但仍保持控制权。据悉，超微公司重点开发电子束量检测设备，该设备是芯片制造和先进封装工艺中的关键设备，对我国发展新质生产力至关重要。

今年1月，中微公司计划在成都市高新区投资设立全资子公司中微半导体设备（成都）有限公司，建设研发及生产基地暨西南总部项目。项目总投资约30.5亿元，主要用于研发薄膜设备。该公司将作为中微公司的西南总部，建设包括研发中心、生产基地和配套设施，预计2025年开工，2027年投入生产。

北方华创：拟向全资子公司增资4亿元，并参与北京电控增资

4月18日，北方华创公告，公司拟以全资子公司北方华创创新投资(北京)有限公司作为出资平台，与北京电子控股有限责任公司（以下简称“北京电控”）各出资4亿元人民币，以非公开协议方式向北京电控控股子公司北京电控产业投资有限公司增资。

据悉，电控产投将主要通过基金和股权投资方式，围绕集成电路、人工智能、物联网等应用领域，投资布局发展潜力大、技术或产品好的标的企业。此次增资总额为8亿元，其中北方华创出资4亿元，北京电控出资4亿元。增资完成后，电控产投注册资本将增至18.57亿元，北方华创持股比例为17.6847%。

资料显示，电控产投成立于2008年10月30日，注册资本12亿元，股权结构上，北京电控持有50%的股权、京东方持有33.3%股权、电子城持有16.7%股权。

值得注意的是，当前北方华创持续扩大业务布局。今年3月31日，北方华创公告，受让沈阳中科天盛自动化技术有限公司（下称“中科天盛”）持有的芯源微股份1690万股，占芯源微总股本的8.41%。更早前的3月10日，北方华创与沈阳先进制造技术产业有限公司（下称“先进制造”）签署了股份转让协议，北方华创拟受让先进制造持有的芯源微9.49%股份，合计1906.49万股，交易金额为16.87亿元。

受益于半导体行业回暖，北方华创业绩亮眼。2024年，北方华创实现营业收入298.38亿元，同比增长35.14%；归属于上市公司股东的净利润为56.21亿元，同比增长44.17%。该公司还发布了2025年一季度业绩预告显示，预计实现营收73.4亿元至89.8亿元，同比增长23.35%-50.91%；预计实现归母净利润14.2亿元至17.4亿元，同比增长24.69%-52.79%。

北方华创表示，2024年公司深耕半导体基础产品领域，经营业绩稳定增长。公司集成电路装备领域多款新产品取得突破，工艺覆盖度及市场占有率显著增长，产品销量同比大幅度增加。今年一季度，公司集成电路装备领域电容耦合等离子体刻蚀设备（CCP）、原子层沉积设备（ALD）、高端单片清洗机等多款新产品实现关键技术突破，工艺覆盖度显著增长，同时多款成熟产品市场占有率稳步提升。凭借优良的产品、技术和服务优势，公司市场份额持续扩大，营业收入同比提升。

中国半导体设备国产化进程飙升

据SEMI数据，中国作为全球最大的半导体消费市场，强劲的市场需求为半导体设备产业的发展提供了强大动力。近年来，国内半导体设备企业在技术突破和国产替代方面持续发力并取得显著进展。以北方华创、中微公司、盛美上海等为代表的设备公司，在技术研发和市场拓展上成果斐然，逐步成为市场竞争中的重要力量。截至2024年，中国半导体设备国产化率提升至13.6%，在刻蚀、清洗、去胶和CMP设备市场，国产化率已突破双位数。尽管光刻设备与国际先进水平仍存在差距，但也取得了部分突破。

全球前五大半导体设备厂商均专注于前道设备应用，分别是应用材料、ASML、东京电子、Lam Research和科磊（KLA）。其中，应用材料、东京电子、泛林半导体是平台型企业，业务横跨刻蚀、薄膜、清洗、离子注入等多个领域，而ASML和KLA属于细分领域龙头。从行业发展趋势来看，向平台型企业发展是进入全球设备第一梯队的关键路径。

由上表可知，在中国大陆，我国目前在发展平台型设备厂商方面卓有成效的主要有北方华创、中微公司、盛美上海和万业企业，而在各细分领域也出现了诸如拓荆科技、芯源微、华海清科、长川科技（维权）、精测电子、中科飞测等代表性企业。

我国设备平台型企业发展情况各有不同，北方华创发展较早，已形成规模，是国内唯一成型的平台型设备企业；中微公司和盛美上海处于加速成长阶段，具备一定规模；万业企业虽处于发展初期，但明确朝着“平台型”企业的目标迈进。从企业发展体量来看，自2022年起，设备行业诞生了北方华创和晶盛机电两个百亿设备巨头。

据全球半导体观察综合中国半导体产业协会、企业财报、半导体行业咨询公司等行业各方消息可知，我国在去胶、清洗、刻蚀设备方面国产化率较高；在CMP、热处理、薄膜沉积领域，近几年国产化取得明显突破；然而在量测、涂胶显影、光刻、离子注入等设备领域，仍较为薄弱。

去胶设备领域来看，中国半导体国产化率在2023-2024年显著提升，尤其在成熟制程（28nm及以上，下同）和中低端市场已实现较高替代率。综合行业多方数据显示，在中低端市场，国产化率约75%-90%，主要覆盖成熟制程、功率半导体、先进封装等领域；而在高端市场上，在先进逻辑芯片（14nm以下，下同）和高端存储芯片（3DNAND/DRAM）中，国产化率仍低于30%，这部分主要依赖东京电子、LamResearch等国际厂商。目前，我国在去胶设备领域的代表企业主要有屹唐半导体、浙江宇谦、上海稷以、北方华创、盛美上海等，总体来看国产设备在“去胶+清洗”集成设备中占优。

清洗设备领域，我国国产化率已不断提高至50-60%，代表企业主要有北方华创、盛美上海、至纯科技、芯源微、屹唐半导体等。

在刻蚀设备领域，我国在成熟制程国产化率约为50%-60%，主要应用于逻辑芯片、功率半导体和存储芯片（如3DNAND）；而在先进制程，国产化率不足15%，高端市场被Lam Research、东京电子、应用材料等垄断。在该领域我国主要代表企业有中微公司、北方华创、嘉芯半导体、屹唐半导体等，另外拓荆科技、盛美上海、芯源微虽然没有专门推出转有的刻蚀设备，但其部分领域设备均有涉及刻蚀工艺。

在热处理设备领域，我国国产化率约为30%-40%，主要代表企业有北方华创、晶盛机电、中微公司、拓荆科技、嘉芯半导体等，另外华海清科、拓荆科技、芯源微部分领域设备均有涉及热处理工艺，占据一定市场份额。

PVD设备领域则是北方华创、捷佳伟创、嘉芯半导体、中电科、科睿设备有限公司、中科院沈阳科学仪器、合肥科晶材料、晶盛机电、中微公司、盛美上海、拓荆科技。该领域设备国产化率还处于较低水平，约为15%-20%，其中在先进制程领域，国产化率仅为10%左右，主要依赖进口。

半导体CMP设备领域，我国在成熟制程国产化率约15%-25%，主要应用于功率半导体、MEMS传感器等领域；而在先进制程上国产化率不足10%，高端市场由应用材料、荏原制作所等垄断。我国在该领域上的代表企业主要有盛美上海、华海清科、中国电科、鼎龙控股、烁科精微等。

涂胶显影设备是光刻工艺的核心设备之一，主要用于晶圆的光刻胶涂覆、显影等步骤。在该领域，我国国产化率约为10%-15%（主要集中在封装和成熟制程），前道设备国产化率不足10%。行业消息显示，涂胶显影设备的主要挑战在于设备稳定性、工艺精度（如均匀性控制）、与光刻机的协同适配方面。我国涂胶显影设备主要代表企业则是盛美上海、芯源微、北方华创、中微公司、华峰测控等。

在离子注入设备领域，我国在成熟制程上的国产化率约10%-20%，主要应用于功率半导体、MEMS传感器等非先进逻辑芯片领域；而在先进制程国产化率不足5%，市场由应用材料、Axcelis、日立国际电气主导。目前，国产设备在中高能量（>200keV）和超低能量（<1keV）离子注入领域仍落后，束流均匀性（±3%vs国际±1%）和稳定性待提升。而在晶圆尺寸适配上，12英寸设备成熟度低，8英寸设备逐步替代进口。此外在相关重要配件上如离子源、质量分析器等长期依赖进口。该领域我国主要代表企业为凯世通、中国电科、烁科中信科、北方华创、中微公司等。

半导体量测设备包括晶圆缺陷检测、关键尺寸测量（CD-SEM）、膜厚测量（椭偏仪）、套刻精度测量等，技术门槛极高。该领域整体国产化率约为10%-15%，我国主要在中低端设备和部分细分领域取得突破，其中前道高端设备（如EUV相关检测）国产化率不足5%。目前该领域的主要发展瓶颈在于核心光学部件（如高精度激光器）、算法软件（缺陷分类与数据分析）依赖进口，设备稳定性与海外巨头存在差距。在量测领域我国主要代表企业为上海微电子、中科飞测、精测电子、华海清科、北方华创等。

在半导体光刻设备前道制造（EUV/ArF浸没式）领域，国产化率约为0%-1％。而在成熟制程光刻机（KrF/i-line，90nm及以上），国产化率约10%-15%，主要用于功率半导体、MEMS、分立器件等领域。而在封装光刻机（后道先进封装），在上海微电子主导下，国产化率不断提升。在该领域我国的主要代表企业有上海微电子、中国电科、北方华创等。据悉，上海微电子计划推出支持55nm制程的KrF光刻机，并推进28nm光刻机量产验证。